Широким классом устройств на базе АСМ являются бесконтактные детекторы, имеющие сходство с микро/наноэлектромеханическими системами (М/НЭМС), макетом которых можно считать датчики…
Технология Mod Display базирована на микроэлектронных механических системах MEMS и предпочтительна пока для мобильных устройств. Экран отлично показывает информацию даже…
Туннельная микроскопия. Свободная пленка sp1-углерода шириной 27 нм помещалась на пленку золота. Толщина пленки определялась в атомно-силовом микроскопе по высоте…
Многие специалисты считают, что MEMS-технология привносит практически революционные конфигурации в каждую область внедрения методом совмещения микроэлектроники с микромеханической технологией, что…
Сенсорные устройства, в каких рецепторным слоем являются био природные соединения, именуются биосенсорами. Обычно, в схожих системах употребляются механизмы молекулярного определения…
Практически пригодилось более 30 лет на то, чтоб появилось 1-ое коммерческое приложение MEMS. Одной из первых MEMS-технологий, получивших повсеместное распространение,…